ubwenge bwumuvuduko wubwenge utandukanya igitutu cyumuvuduko Metal Capacitive Pressure Sensor

Ibisobanuro bigufi:

Umuvuduko wo hagati wimurirwa muri diaphragm yipimisha hagati ya δcyumba na bariyeri diaphragm hamwe namavuta ya Silicon, kubera ko diaphragm yikizamini ari ibintu byoroshye guhinduka, bitanga kwimuka nyuma yumuvuduko ukabije. Kwimura diaphragm hamwe nigitutu cyumuvuduko biri mubyerekezo, icyerekezo kinini ni 0.1mm, Igeragezwa na na capacitif ya platifike kumpande zombi, Hanyuma capacitori itandukanye hagati ya diaphragm yikizamini hamwe nubuyobozi bwa capacitive yahinduwe mubisohoka bisanzwe na Inzira Yumuzingi.